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淄博高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)MEMS研究院由淄博高新區(qū)管委會(huì)與清華大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院于2010年11月共同建設(shè)，是微機(jī)電制造領(lǐng)域國(guó)內(nèi)第一個(gè)校地共建研究院，是全國(guó)微納制造、器件與系統(tǒng)協(xié)同創(chuàng)新中心成員單位。研究院聘任中國(guó)工程院院士、清華大學(xué)副校長(zhǎng)尤政擔(dān)任院長(zhǎng)。

研究院設(shè)有“精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室MEMS分實(shí)驗(yàn)室”、“清華大學(xué)微米納米技術(shù)研究中心MEMS分中心”和“智能微系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室MEMS分實(shí)驗(yàn)室”等分中心和分實(shí)驗(yàn)室，提供MEMS器件小試、中試、代工、檢測(cè)分析等專業(yè)服務(wù)，及微機(jī)電制造領(lǐng)域知識(shí)產(chǎn)權(quán)管理和工藝標(biāo)準(zhǔn)化等公共服務(wù)。

MEMS研究院投資建設(shè)了國(guó)內(nèi)首條硅基4/6英寸兼容MEMS中試代工平臺(tái)，超凈規(guī)模國(guó)內(nèi)一流；配備了國(guó)際一流設(shè)備的中試代工線，中試生產(chǎn)能力可達(dá)月產(chǎn)傳感器十萬(wàn)只，產(chǎn)品的測(cè)試環(huán)境也居國(guó)內(nèi)先進(jìn)水平。